低溫等（děng）離子廢氣處理設備，低（dī）溫等離子體的淨化作用還具備顯著的生物效應。發生的靜電作用（yòng）在各種細菌、病毒等微（wēi）生（shēng）物表麵產生的電能剪切力大於細胞膜表麵張力，使細胞膜遭到破壞，導致微生物死亡。因此低溫等離（lí）子體（tǐ）除臭技術具有優秀的消毒殺菌之功效。
低溫等（děng）離子體技術是一個集物理學、化學、生物學和（hé）環境科學於一體的交叉綜合性技術，該技術顯著特點是對（duì）汙染物（wù）兼（jiān）具（jù）物理效應、化學效應和生（shēng）物效應，且有能耗（hào）低、效率高、無二次汙（wū）染等明顯優點。
其淨化作用機理包含兩個（gè）方麵：
一是在（zài）產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能足夠打開一些有害（hài）氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或無害分子；
二是（shì）等離子體中包含大量的高能、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞（zhuàng）結合（hé），在電場作用下，使臭氣分子處於激發態。有（yǒu）機當臭氣分子（zǐ）獲（huò）得的能量大於其分子（zǐ）鍵能的結合能時，臭氣分子的（de）化學鍵斷（duàn）裂，直接分解成單質原（yuán）子或由單一原（yuán）子（zǐ）構成得無害氣體分子。同時產生的（de）大量·OH、·HO2、·O等活性自由基和氧化性極強的O3，與有害氣體分子發生化學反應，最（zuì）終生成無害產（chǎn）物。
低溫等離子體中的高能電子可使電負性高的氣體分子（如氧分子、氮分（fèn）子）帶上電（diàn）子而成（chéng）為（wéi）負離子，它具有許多良好的效應，對人體及其他生物的生命活動有著十分重要的影響，被人們譽為“空氣維生素”、“長壽素”。